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  • MIKASA米卡薩顯影機(jī)

    MIKASA米卡薩顯影機(jī)

    MIKASA米卡薩為半導(dǎo)體制造工序提供支持的
    MIKASA米卡薩備齊光刻膠涂布、曝光、顯影、蝕刻等半導(dǎo)體制造前段工序所需要的裝置后,提供一站式服務(wù)。另外,為旋轉(zhuǎn)涂膜儀的所有機(jī)型準(zhǔn)備了替代用機(jī),可在發(fā)生故障時盡早應(yīng)對,且在銷售后提供快捷周到的售后服務(wù)。針對研究過程中所發(fā)生的一系列問題,也可在現(xiàn)場提出解決建議。與客戶共同探討在哪個工序出現(xiàn)了問題、應(yīng)如何改進(jìn)等等,從而得出解決建議。

    MIKASA米卡薩作為一個可在半導(dǎo)體方面進(jìn)行共同商談的咨詢顧問,不僅銷售設(shè)備,而是為客戶半導(dǎo)體制造的整體工藝流程

    晶圓→洗滌(**晶圓表面的臟污及各種金屬離子)→成膜(在高溫擴(kuò)散爐中,形成表面氧化膜)→光刻膠涂布(將光刻膠(感光材料)涂抹到晶圓表面,形成厚度均一的薄膜)→曝光(將光掩膜與晶圓重合,復(fù)制電路圖案)→顯影(去除曝光部位(正膠)的光刻膠)→蝕刻(通過腐蝕氧化膜來蝕刻電路)

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